先得分享半导体工业用钌前驱体
您是否正在寻找一种钌前体来制造更精细、更薄和导电性更强的互连？Heraeus 为您在原子层沉积和化学气相沉积工艺中的应用提供 8 种不同的挥发性钌前体和中间体。钌在替代铜作为精细互连的新材料方面显示出可喜的成果。
概述
1. 当前互连技术的局限
2. 为什么是钌前驱体
3. 可用的钌前体
4.取得联系
当前互连技术的限制
数字化、人工智能、自动驾驶和高性能终端设备的进步催生了更小但更强大的逻辑芯片。因此，高端技术节点的扩展正在向前发展——导致更小的晶体管和互连。虽然研究继续开发更小的晶体管，但在创建由铜制成的更精细和更薄的互连时会出现困难。
缩小铜互连尺寸有 3 个主要缺陷：
铜线需要用阻挡层包裹以避免相邻材料的损坏。因此，阻挡层是减小铜线尺寸的障碍。
铜线变得越细，电迁移发生的可能性就越大。
随着互连尺寸的缩小，铜的电阻率增加。
由于上述缺点，需要考虑用于互连的新材料。正如研究人员 Wan 等人所说，最有希望替代铜的候选者之一是钌。人。已经在他们的 IITC 会议论文 Sub-5nm 互连钌的减法蚀刻中展示。
为什么是钌前体？
金属钌薄膜——由挥发性前体通过蒸发制成——在应用于几纳米或更小的线径时显示出优异的材料特性。
使用钌的优点包括：
抗热和电退化 – 提高晶体管的寿命
高熔点 – 允许高温应用
创造无障碍互连的潜力——允许更小的设备架构并减少工艺步骤的数量
低电阻率——以更快的开关时间促进更高性能的芯片
半导体行业可用的钌前体
您可以从 8 种可通过原子层沉积或化学气相沉积应用的钌化合物中选择作为新的互连材料。此外，我们的钌前驱体可用于硬掩模。
不仅如此看清楚在珠宝界，很少有金属像钌一样具有如此重要的文化和历史意义。这种金属是铂族的一员，它的特性使其在质量很重要的行业中成为一种非常有价值的商品。钌是一种非常耐用、耐刮擦且坚固的金属，非常适合为银饰添加一些独特的饰面。钌首饰的颜色范围包括从银白色一直到黑色的各种色调，有时可以使用电镀甚至不使用任何涂层，让您在阳光下看到它的自然美。
钌贵金属材料二手回收实样图
每位客户每天都在附近回收各种各样的金银钯铂铑废料，接触频率最高的是如下话题：
-
钌贵金属合金回收循环利用源头提炼工厂报价价格是多少钱一克？
答：根据钌占比报价，根据钌贵金属待回收材料的化验单，即可按当日大盘行情折率计价。
-
贵金属钌金属组成成分是多少？
答：不同形态，新旧，杂质，载体的贵金属钌金属占有比率都不一样。有一些很稳定，有些需要样品进行检测。无法目测，或凭经验臆断价位。具体请发实拍图给我们判断。
-
高价回收贵金属的交易方式怎么样？
答：可远程取样验货定价，快递收货代收货款。复杂货况可上门收购。
